最新MEMS和传感器技术 @ 2014慕尼黑上海电子展
2014-03-19 08:24:35   来源：微迷   评论：0   点击：

2014年慕尼黑上海电子展于3月18日正式拉开帷幕，麦姆斯咨询（MEMS Consulting）带领各位一起领略本次展会上最新发布的MEMS和传感器技术。

超声波传感器 @ 村田制作所

麦姆斯推荐指数：★★★★★

下一代的变革性人机交互技术即将诞生，村田制作所和世界超声波非接触式手势控制领军者Elliptic Labs一起合作将非触屏的魔杖带入电子设备。村田制作所的超声波传感器通过超小型SMD实现高声压，封装尺寸为5.2 x 5.2 x 1.2 mm，最适合用于3D手势识别，也可用于测量与目标物体间的距离。超声波技术使用MEMS麦克风和超声波传感器来追踪物体运动，就好比雷达一般。超声波非触屏手势技术比其他摄像头技术都要节能95%以上，之所以能够吸引对电池耗能具有一定要求的便携式设备制造商。预计2014年下半年，搭载超声波传感器的平板电脑就会面世。

村田制作所的超声波传感器

以多点接收反射回来的超声波便可计算出目标的3D位置和动作

3D AMR传感器 @ 村田制作所

麦姆斯推荐指数：★★★

村田制作所展示了世界首创能够进行360度全方位同感度磁场检测的3D AMR传感器MRMS591A。目前的传感器因为受到感度指向性的限制，要进行全方位的磁场检测非常困难，为了进行三维传感必需要组合3～6个传感器，但是使用本传感器的话，只要一个就能够起到相同的作用，因此也能够为客户设计的省空间化和降低成本作出贡献。3D AMR传感器封装尺寸为1.45 x 1.45 x 0.55 mm，可检测电力、瓦斯、自来水的仪表、安全装置、娱乐机的不正常磁场。

村田制作所世界首创3D AMR传感器

组合环境传感器 @ 博世集团

麦姆斯推荐指数：★★★★★

在本次展会中，博世展示了全新的BME280组合传感器，这是全球首款在单个封装中集合了压力、湿度和温度传感器的一体化环境监测传感器。这款先进的传感器尺寸为2.5 x 2.5 x 0.93 mm，专为诸如室内导航、住宅自动控制、个性化气象站、创新运动与健身以及远程医疗等高性能应用而开发。一直以来，博世被公认为打造微机械传感器及开发MEMS的领军企业，每年生产超过10亿个的MEMS传感器。

博世BME280环境传感器

远红外焦平面阵列 @ 博世集团

麦姆斯推荐指数：★★★★★

本次展示的SMO130是基于悬浮单晶硅热二极管的非制冷远红外传感器阵列，单片集成红外传感器阵列和读出集成电路（ROIC），82 x 62 像素，100微米的像素间距，NETD：200 mk @ f/1.0 光圈（300K，9Hz），帧率9Hz（热时间常数），模拟视频输出。应用领域包括热成像、安全和监控、楼宇自动化、能效管理、人员检测。封装：传感器阵列芯片大小：11 mm x 11 mm，传感器被安装在一个38 mm x 25 mm带有SMD连接器的PCB上。客户获益：（1）由标准高量产APSM-MEMS工艺和晶圆级真空封装而形成的极具成本效益的传感器理念；（2）百万倍证实了MEMS制造工艺；（3）大批量生产能力。价格约为40~50欧元（300~400人民币）。

博世远红外焦平面阵列SMO130

13轴传感器平台 @ 罗姆集团

麦姆斯推荐指数：★★★★

本次展示的13轴传感器平台包括传感器中枢（Sensor Hub）、9轴惯性传感器（加速度计、陀螺仪和磁力计）和4轴光传感器（环境光传感器、接近传感器、紫外线传感器和温度传感器），支持Windows 8操作系统，适合遥控器、平板电脑、智能手机、汽车导航、可穿戴设备等应用。此外，罗姆集团还拥有压力传感器、电容式触摸屏、霍尔传感器、红外探测器等丰富的“感知”器件。

罗姆13轴传感器平台

紫外线传感器 @ LAPIS（罗姆集团）

麦姆斯推荐指数：★★

本次展示的紫外线传感器ML8511-00FC / ML8511-00NA采用世界首创的基于LAPIS独有的SOI技术，低工作电流（Typ.:300µA）以及低待机电流（Typ.:0.1µA），芯片尺寸为2.1 x 1.8 x 0.7 mm（正在开发TSV-CSP封装），封装尺寸为：4.0 x 3.7 x 0.73 mm，最适用于智能手机、平板电脑、便携式计量仪、健康护理和可穿戴设备。

LAPIS紫外线传感器ML8511

红外线图像传感器 @ LAPIS（罗姆集团）

麦姆斯推荐指数：★★★★★

本次展示的红外传感器ML8540 / ML8540WD是2K像素级分辨率的热电堆图像传感器，具有非制冷方式、小型化、低功耗等优点，融合MEMS + CMOS技术，适用于HEMS、BEMS等节能用途、安全和健康护理监测、游戏和运动传感。工作范围：-30~85℃，测量范围：-30~300℃，读出速度：6帧/秒。供货方式：晶圆或者器件。每个器件价格小于5美金。

LAPIS红外线图像传感器ML8540 / ML8540WD

ML8540 / ML8540WD可轻松获得高灵敏度、高分辨率图像

血氧传感器 @ 精量电子

麦姆斯推荐指数：★★★

本次展示的ELM-4000系列血氧传感器采用世界领先的硅平面扩散型光电二极管技术，专业生产医疗专用光电元件，包括双波长LED发射器和高灵敏度光敏二极管接收器。产品精度高，性能稳定，根据峰值波长特性，广泛应用于脉搏血氧仪等医疗产品。同时，精量电子可以根据客户的要求定制产品，承接OEM血氧探头生产。产品包括重复使用探头，软指套探头，以及各种类型的一次性探头。

精量电子ELM-4000系列血氧传感器

金融磁头 @ 多维科技

麦姆斯推荐指数：★★★

本次展示的金融磁头（TMR磁性识别传感器）是为纸币、银行票据、证券磁特性的检测、识别所研制的新型纯阻抗验钞磁头，TMR磁阻优异的弱磁检测能力和专门设计的偏置磁钢具有的凹陷结构，使其具有高灵敏度、信噪比和极佳的检测间隙特性，对如安装的倾斜、偏心以及对沿垂直（z轴）方向的振动或抖动量不敏感。2014年1月，多维科技的金融磁头进入国内市场，年产量达到100万只。

多维科技的金融磁头

三合一光传感器 @ 芯晨科技

麦姆斯推荐指数：★★

本次展示的SLI3100三合一光传感器集成了环境光检测、接近检测和红外发光二极管，是专门针对智能终端的显示自适应调节、省电、情景模式识别等应用进行研发的，可广泛应用于智能手机、平板电脑和可穿戴设备。该款产品具有小尺寸、低功耗（200 uA @ 工作电流，6 uA @ 休眠模式）、高灵敏度、高稳定性等优点。产品封装尺寸有两种：标准型3.94 x 2.36 x 1.35 mm，超薄型3.94 x 2.36 x 1.10 mm。

芯晨科技的SLI3100三合一光传感器

高度计/压力传感器 @ 全磊微机电

麦姆斯推荐指数：★

本次展示的MIS-7300系列智能压力传感器（高度计）及其演示板，由压阻式MEMS和ASIC构成，封装为LGA 8-pin 4.5 x 4.0 x 1.1 mm（尺寸较大），压力范围是300~1100 hpa。其中，ASIC包括16位AD转换器和嵌入式512位OTP内存。压力传感器已在出厂前做校正与温度补偿，温度补偿系数被储存在OTP内存中，用户通过外部微处理器执行温度补偿，外部微处理器依据储存在OTP内存中的系数为MIS-7300读取原始输出数据和做简易的计算。

全磊MIS-7300系列智能压力传感器

LTE滤波器 @ TriQuint

麦姆斯推荐指数：★★★★

随着LTE网络的部署和Wi-Fi的普及，对高性能滤波器的需求呈现激增之势。新的4G频带通常紧邻对Wi-Fi和蓝牙服务的现有频带，而且防护频带非常少。TriQuint的体声波 (BAW) 和温度补偿 (TC-SAW) 技术有助于在世界上多个区域的许多不同频带上运行的4G智能手机，同时实现语音和数据服务。TriQuint展示了其最新的高性能声波滤波器，目前已被三星、LG、HTC和摩托罗拉移动等4G智能手机采用。自2006年以来，TriQuint的SAW滤波器的出货量超过20亿，BAW滤波器的出货量则接近10亿。

TriQuin LTE 分集接收滤波器

RF MEMS滤波器 @ 美泰微系统/天英微系统

麦姆斯推荐指数：★★★

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV（硅通孔）MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片，拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能，产品频率范围覆盖2~50 GHz，可提供带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。目前，已经开发近千种MEMS滤波器产品，并可根据用户需求定制开发。

美泰RF MEMS滤波器

此外，国内其它MEMS企业也有不俗进展，明皜传感展示了空鼠和人体姿态解决方案；矽睿科技展示了三轴AMR磁力计；纳芯微电子推出了多款MEMS ASIC产品，并展示了加速度计和压力传感器演示板；智恒微电子展示了光电/计数传感器，推出了单片集成压力传感器方案；罕王微电子推出了工业应用压力传感器和空气流量计，并且建设完封装平台。