中国首个MEMS顶级会议杰出论文奖落户西北工业大学
2016-01-30 21:51:46   来源：微迷   评论：0   点击：

微机电系统（MEMS）领域的国际顶级会议暨第29届IEEE MEMS大会，于2016年1月25日至28日在上海国际会议中心召开，这也是该会议首次在中国大陆召开。西北工业大学机电学院“空天微纳系统教育部重点实验室”常洪龙教授课题组的研究成果“A High-Sensitive Resonant Electrometer Based on Mode Localization of the Weakly Coupled Resonators”获得大会杰出论文奖（Outstanding Paper Award）。这也是中国学者首次获得MEMS领域顶级会议的杰出论文奖。

据悉，此次IEEE MEMS会议通过技术程序委员会（TPC）的双盲评审，根据分数从835篇论文中选出15篇论文作为杰出论文奖的候选，再经过大会的口头报告及答辩环节，经专家投票确定了最终的四篇杰出论文奖。其他三篇获奖论文分别来自UC Berkeley，Stanford 和Johns Hopkins等三所美国名校。

究竟这是一个什么样的工作呢？为什么这一工作能从众多优秀的工作中脱颖而出，获得这一业界大奖呢？

据常洪龙教授介绍，目前业界广泛应用的电容式敏感机理遇到了性能瓶颈，寻找新的敏感机理，来进一步提高微机械传感器的精度与环境适用性，成为业界亟需突破的难题。常洪龙教授主持国家自然科学基金“基于模态局部化的弱耦合谐振式惯性敏感机理及器件研究（51575454）”，将多自由度弱耦合谐振器的模态局部化现象用于微机械惯性传感器的设计，采用无量纲的振幅比作为输出，利用振动能量局部集中效应来放大灵敏度，形成了一种惯性敏感新机理。

基于模态局部化原理的静电计扫描电镜图

基于该机理，常洪龙教授课题组设计研制出具有超高灵敏度的微机械加速度计、倾角计、静电计等，大大提高了谐振类MEMS传感器的检测灵敏度极限。并且该机理对温度变化不敏感且对现有工艺体系兼容，为高端微机械传感器的研制探求了一种新机理。就是该机理的研究工作得到了国际同行的认可，并被授予了业界大奖。

常洪龙教授、第一作者张和民与大会主席清华大学王晓红教授合影

据常洪龙教授介绍，他们在该机理研究上的另一项工作去年获得MEMS领域顶级会议Transducers大会（2015，美国阿拉斯加）的杰出论文提名奖。他们研制了国际上首个基于模态局部化的微机械加速度计，经过技术程序委员会（TPC）的双盲评审，从1169篇论文中脱颖而出，也是中国大陆学者在该会议历史上所获得的唯一一次提名奖。

该机理及器件在一年内连续两次获得MEMS领域两大顶级会议的杰出论文提名奖、杰出论文奖，在国际上也属难得。