疫情之下，整装再发——2020年MEMS首课在无锡圆满举办！
2020-08-07 10:04:36   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

2020，疫情之下，学习不落！欢聚无锡，满载而归！由麦姆斯咨询主办，上海传感信息科技有限公司和华强电子网协办的《第22期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》，于2020年7月10日至12日在无锡圆满举办！

《第22期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》学员合影留念

MEMS品种繁多，决定了MEMS制造工艺的多样性，而研发人员需要根据MEMS器件应用需求，选择合适的材料及制造工艺。为此，麦姆斯咨询特开办《第22期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》，主要围绕MEMS制造关键设备和材料、硅基和非硅基MEMS制造工艺、新兴MEMS制造工艺（纳米压印）、MEMS晶圆级封装制造工艺以及时下热门MEMS器件（如红外热电堆、仿生微纳结构、微针、电极和人工视网膜）制造工艺等方面开展，为大家呈现一场丰富的MEMS制造工艺知识大餐！

麦姆斯咨询的培训会迟到，但绝不会缺席！来自全国各地的学员不惧炎热，纷纷奔赴培训现场，大家学习的热情就像7月的骄阳一样饱满。

宽敞的培训室，专注的学员

名师引路指航程，不虚此行促成长！

7月10日上午，苏州美图半导体技术有限公司总经理王云翔为此次培训拉开了序幕。王云翔老师首先以MEMS与IC对制造设备和材料的需求分析开篇，随后对MEMS制造所需衬底，光刻、刻蚀以及薄膜工艺所用的材料进行详细讲解。王云翔老师提到，在选择材料的时候，要注意各项指标参数，多寻找几家供应商对比，否则很容易买错产品。随后，王云翔老师又结合市场上知名MEMS材料和设备供应商的产品，对MEMS制造所用的主要设备，包括光刻机、喷胶机、深硅刻蚀机和键合机的工作原理及应用进行了重点阐述。王云翔老师的讲解详尽透彻，结合自身经验以及对市场发展前景的分析，令学员收获颇丰。虽然目前中美贸易战导致部分原材料和设备厂商对中国客户力不从心，但国产供应商在多项领域的水平也有了突飞猛进的发展，我们对中国供应商仍大有信心！

苏州美图半导体技术有限公司总经理王云翔的授课风采

7月10日下午，北京大学陈兢教授为大家带来了《非硅基MEMS（微流控器件）制造工艺》的讲解。讲课之前，陈兢老师对大家的背景进行了初步调研，从而合理分配讲课重点。随后，陈兢老师以MEMS的发展历程为切入点，向学员们发出灵魂拷问：为何要学习MEMS？因为这个“小小的器件，有着大大的机会”！在简要对比了硅基MEMS与非硅基MEMS的加工流程后，陈兢老师结合板书，对典型聚合物的MEMS加工工艺进行了深入讲解，其中包括压印、注塑、PDMS、软光刻和SU8等，同时辅以一些工艺的由来，增加了课程的趣味性。随着全球疫情的爆发，陈兢老师引出了非硅基制造工艺的主要“战场”：微流控芯片，并提到微流控技术的突破将引领IVD（In Vitro Diagnosis，体外诊断）和POCT（point-of-care testing，即时检验）的革新！同时还对比分析了以硅、玻璃和聚合物为不同衬底的微流控芯片制造工艺的优缺点，并提到聚合物由于其加工性能好以及良好的生物兼容性，是目前主流的材料之一，但随着芯片复杂度的提高，对聚合物的成本和尺寸都提出了更高的要求。课程最后，陈兢老师以“让天下没有难做的微流控”作为结语，令所有学员心潮澎湃。

北京大学教授陈兢的授课风采

7月11日上午，由苏州诺联芯电子科技有限公司首席技术官俞骁为大家带来关于《硅基MEMS制造工艺》的讲解。俞骁老师课程开始首先对MEMS工艺做了简短的概述，并分析了MEMS工艺与IC工艺的相同点与不同点。俞骁老师提到，半导体工艺的核心是气体和等离子体，由此引发出的两项工艺技术：沉积和刻蚀，随后俞骁老师对薄膜沉积和刻蚀工艺进行了详细的讲解。当然除了这两项工艺，俞骁老师还为大家着重分析了光刻、等离子注入和键合工艺，包括其工艺流程和优缺点等。对于MEMS工艺中的测试步骤，俞骁老师提到这是必不可少的一部分，因为测试可占到MEMS成本的1/3，越晚发现指标不合格，带来的损失越大。最后，俞骁老师通过向大家展示几个MEMS器件制造流程实例，加深了学员对于MEMS制造工艺的了解，对于实际工作中遇到的问题更具有指导性。俞骁老师在课程最后说到，MEMS领域目前仍处于变化多端且困难重重的阶段，这将是一项多学科交叉学习的过程，制造工艺作为MEMS产业链的前端，尤其需要关注和学习。

苏州诺联芯电子科技有限公司首席技术官俞骁的授课风采

7月11日下午，首先由苏州硅时代电子科技有限公司高级工程师陈涛为大家讲解《典型硅基MEMS（热电堆红外传感器）制造工艺》。由于新冠疫情的全球性蔓延，额温枪市场火爆，而额温枪最核心的元器件则是采用MEMS制造工艺生产的热电堆红外传感器。此次课程陈涛老师将为大家揭秘热电堆红外传感器的工艺难点及解决方案等。课程之初，陈涛老师简要介绍了热电堆的工作原理及其工艺流程，随后便直接进入主题：热电堆红外传感器制造的关键工艺，其中包括薄膜生长技术、离子注入工艺以及基于Bosch工艺的深硅刻蚀。陈涛老师指出，薄膜生长是MEMS加工过程中一个至关重要的工艺步骤，在实际操作中，需要根据薄膜的作用（作为结构层、功能层或者绝缘层等）选择合适的生长方式。课程最后，对于红外成像的应用及其产业链，陈涛老师说到，红外成像技术目前已经成为现代高科技常规兵器装备中不可缺少的重要部分，但也在逐步向民航、安防、工业、建筑、交通、户外以及自动化等众多民用领域发展。国内供应商众多，但相对于国外厂商来说不论是在营收规模还是在市场份额上都较小，所以还需大家静下心来共同努力。

苏州硅时代电子科技有限公司高级工程师陈涛的授课风采

紧接着，当天下午我们又迎来了中国科学院深圳先进技术研究院医工所的中心主任兼研究员吴天准为大家讲解《非硅基MEMS（仿生微纳结构、微针、电极和人工视网膜）制造工艺》。课程之初，吴天准老师先是通过数据对生物MEMS市场规模做了简要介绍，并指出近几年生物传感器的市场规模增速喜人，尤其受2020年新冠疫情的影响，更是加速了生物传感器市场的全面爆发。提到生物MEMS的发展方向，吴天准老师说到大自然鬼斧神工，道法自然是“More Than Moore”的重要策略，因此仿生制造和柔性集成会成为生物MEMS与时俱进的重要方向。随后，吴天准老师分别对仿生微纳结构、微针、柔性电极和人工视网膜的制造工艺进行了深入讲解。吴老师更是结合自己的研究，毫不吝啬地与大家分享实验数据和工艺流程，针对实验过程中出现的问题也一一进行了详细阐述。授课过程中，时不时穿插的视频，一度将课堂气氛推向了高潮，大家感慨于大自然的神奇，也惊叹于人类的无穷智慧。

中国科学院深圳先进技术研究院医工所的中心主任兼研究员吴天准的授课风采

7月12日上午，来自加拿大滑铁卢大学的崔波教授为大家带来《新兴MEMS制造工艺：纳米压印》课程的讲解。崔波老师从纳米压印的历史出发，为大家对比分析了纳米压印和传统半导体光刻技术的异同点，并说到纳米压印具备两大优势：极高的分辨率以及三维复杂结构压印。接着，在对纳米压印模板的讲解中，崔波老师分别对硬模板、软模板、复合模板（结合了硬模板的高分辨率和软模板的易弯曲性）以及聚合物模板的概念及其优缺点进行了重点分析。崔波老师提到，一般来说，所有的交联聚合物都可以用作纳米压印模板，但可惜的是，大多数交联聚合物都不能用脱模剂或防粘剂进行处理。随后对本次课程的核心部分——纳米压印工艺的讲解中，崔波重点对平行板压印、气压（Air cushion press，ACP）、滚压（roll-to-roll）、电压印（Electric field assisted NIL，EFAN）以及感应加热压印进行讲解，并对纳米压印实际操作过程中会产生的问题及其对应的解决方案分别做了详细阐述，以期为学员们带来新的启发。课程最后，崔波老师列举了纳米压印在生物、电子、光学、存储上的应用并提到纳米压印技术的市场还很广泛，未来10年，纳米压印将成为影响整个世界的技术之一！

加拿大滑铁卢大学教授崔波的授课风采

7月12日下午，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员顾杰斌为大家带来了此次培训的压轴课程《MEMS晶圆级封装工艺》。顾杰斌老师课程开始首先以三轴加速度计的封装趋势论证了TSV技术的日益成熟，并提到现在70%的封装尺寸缩小是通过3D TSV和WLP（晶圆级封装）技术来实现的。随后分别对TSV和TGV的工艺流程及其优缺点进行了对比分析，并说到TSV孔刻蚀工艺成熟，但不适用于射频应用，而TGV则恰恰相反。然而，电镀会产生各种问题，如工艺复杂，需要种子层；沉积速度慢、成本高、应用有所限制；电解液有毒害以及不适合制造复杂的三维结构等，那有没有更好的厚金属沉积方法呢？随后，顾杰斌老师即针对自身研究所研究的液态合金可控切割技术进行了重点讲解，无论是前期处理，还是填充过程以及材料环保性，都优于电镀TSV，且侧壁无需金属层，还能实现晶圆级，更是优于国际上其它液态合金TSV技术。课程最后，顾杰斌老师分享了精彩的案例分析，通过启发性思维的方式引领大家深入探索，体会深耕封装技术的魅力。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员顾杰斌的授课风采

勤学好问解疑惑，思想碰撞促融合！

麦姆斯咨询的培训课堂，不仅仅是知识传授的载体，也是学员深度交流的熔炉。每位老师课下都被学员“围攻”，不同产业背景的学员，从不同的产业角度提出问题，各种见解催生新的思路，带来更多的合作机会，寻找志同道合的小伙伴。通过此次培训，学员们不仅收获了满满的理论知识，更能通过交流，互通有无，促进彼此业务蓬勃发展，这也是我们培训课程最大价值所在。

踊跃提问的学员

时光匆匆，在汗水与欢声笑语中，麦姆斯咨询举办的《第22期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》圆满落下帷幕，新的征程已扬帆起航！麦姆斯咨询将不忘初心、上下求索，继续秉承精益求精，不断开拓进取的精神，为MEMS和传感器产业提供更先进的理念、更有效的工具、更优质的培训课程！错过本次培训机会的学员不必遗憾，更多培训期待您的到来！

推荐培训：

2020年8月14日至8月16日：《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》；

2020年8月28日至8月30日：《第25期“见微知著”培训课程：VCSEL核心技术》。

以上两场培训正在火热报名中。

联系人：彭琳
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