弗劳恩霍夫光子微系统研究所开发出新型纳米级静电驱动MEMS弯曲执行器
2017-01-19 13:25:46 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
据麦姆斯咨询报道，德国弗劳恩霍夫光子微系统研究所开发出一款新型静电微执行器，仅需很低的功耗和驱动电压就可以实现大幅度垂直或侧向偏转。该技术可用于扩展现有微系统解决方案，还可以通过创新设计开发新的应用领域。
据麦姆斯咨询报道，Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems（德国弗劳恩霍夫光子微系统研究所，以下简称IPMS）开发出一款新型静电微执行器，仅需很低的功耗和驱动电压就可以实现大幅度垂直或侧向偏转。该技术可用于扩展现有微系统解决方案，还可以通过创新设计开发新的应用领域。在Photonics West 2017（2017美国西部光电展）上，IPMS将在其中一场商品贸易展上首次展示这款新型静电驱动弯曲执行器。
静电驱动微执行器在智能手机、可穿戴产品、汽车、植入注射泵或微型投影仪中均有应用。如今，具有可动部件的高度微型化电子机械系统（MEMS），为光学、通讯、生物技术以及测量和医疗技术领域的无数应用提供了技术基础。静电场通常被用于驱动执行器。IPMS开发的纳米级静电驱动（NED）执行器将产生静电力的电极间距降低至仅数百纳米，但同时还能获得超过100微米的大幅偏转运动。
“通常更大的电极间距才能产生大幅的偏转运动，因此，通常都需要较大的驱动电压，”IPMS负责人及该项研究团队带头人Harald Schenk教授解释道，“不过，对于我们的纳米级静电驱动执行器，静电力被转为侧向力，这些侧向力在弯曲梁中会产生准静态偏转，这种偏转实质上要大于电极间距。”
该纳米级静电驱动执行器的应用领域非常广泛，Harald Schenk教授领导的研究团队目前正为微型光学变焦镜头系统、微泵、微阀、听觉可穿戴及助听器应用的微型扬声器设计定位驱动。在此研究过程中，该项技术可以证明其具备规模量产的潜力。该纳米级静电驱动执行器采用传统MEMS表面微加工和体微加工制造工艺，可以很方便的集成进入半导体组件和CMOS电路。
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