ASMC代工新突破 建成MEMS量产线
2011-09-27 10:10:36   来源：微迷   评论：0   点击：

上海先进半导体（ASMC）在MEMS代工领域取得重大进展，在打造国内MEMS工艺生产平台已进入量产。

上海先进半导体的MEMS生产平台进行以下器件代工：陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RF MEMS、微流体器件、开关、压力传感器等。其中陀螺仪、加速度计和压力传感器可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子领域。

目前，该MEMS生产平台拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片；具有较大的适用范围，包括MEMS前道工艺（不含可动离子沾污)和后道工艺（包含可动离子沾污的玻璃工艺）。前道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、离子注入以及薄膜沉积等；后道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、薄膜、硅片键合、硅片减薄、边缘切割以及划片等。此外上海先进半导体还拥有全部的工艺在线检测设备，具有在线缺陷检测能力和用于器件测试的直、交流测试能力。

上海先进半导体的总裁谢志峰博士表示，ASMC会继续提高MEMS器件的制造产能和工艺研发能力，以进一步增强MEMS器件的客户服务能力。

关于ASMC

上海先进半导体为一家领先的专门模拟芯片代工厂，主要专门制造仿真半导体及双极型内容较高的混合讯号半导体。公司的客户包括部分全球领先的集成器件制造商及无生产线半导体公司。上海先进半导体生产的标准和专用半导体，由公司客户设计，产品用于各类终端市场应用方案，包括计算机、通讯及电子消费品。二零零九年, 上海先进半导体取得了VDA6.3质量体系认证, 现已具备为国际汽车市场提供服务的一家“A”级资质供应商。

公司为客户提供种类广泛的加工技术，包括：

（1）模拟半导体的双极型、BiCMOS 及 HVMOS 加工技术；

（2）用于制造智能身份证的非挥发性存储内存技术。

凭借运用各类加工技术的灵活及度身订造制造模式，上海先进半导体能支持客户的特定制造要求。

上海先进半导体在中国上海经营两间芯片制造厂，一间制造5寸及6寸芯片，另一间则制造8寸芯片。