《压电MEMS：材料、器件和应用》学术报告
2014-03-22 16:38:09   来源：微迷   评论：0   点击：

大卫•霍斯利（David Horsley）

伯克利传感器和执行器中心(BSAC) 联合主任

加州大学戴维斯分校机械和航空航天工程学院 教授

2014年3月21日，伯克利传感器和执行器中心联合主任大卫•霍斯利受邀参加中国物联网研究发展中心学术交流活动，重点介绍了最为广泛使用的MEMS压电材料：氮化铝（AlN）和压电陶瓷（PZT），以及压电式微加工超声波传感器（PMUTs）的最新研究进展，吸引众多MEMS业内人士参会讨论，为中国MEMS产业发展推波助澜。

内容简介：

如今，MEMS运动感知技术已经广泛应用于汽车和消费电子产品中，如智能手机、可穿戴设备。虽然大多数MEMS运动传感器基于电容技术，但是压电技术也实现了MEMS器件的量产，如体声波（BAW）射频过滤器、喷墨打印头和定时振荡器。在演讲的上半部分，我将讨论最为广泛使用的MEMS压电材料,氮化铝（AlN）和压电陶瓷（PZT）。众所周知，PZT具有优越的压电性能，AlN具有低温（<400℃）沉淀性能，同时它的介电常数比PZT小两个数量级，这意味它在某些应用中能发挥更加优越的性能。关于AlN材料，如AlGaN和ScAlN，可以改善机械性能或增加压电系数，但却不会显著改变其它属性。在后半部分演讲中，我将讨论压电式微加工超声波传感器（PMUTs）的研究进展。PMUTs将取代现有应用中的传统超声波传感器，并利用小体积、低成本、低功耗、兼容IC制造方法等优势进入全新的应用领域。我的研发团队主要针对两项应用——超声波手势识别和超声波指纹传感器，进行深入研究。

嘉宾简介：

戴维•霍斯利博士，是加州大学戴维斯分校机械和航空航天工程学院教授，伯克利传感器和执行器中心（BSAC）的联合主任，在美国国家科学基金会工业/大学合作研究中心（I/UCRC）从事MEMS传感器和执行器研究。他的研究领域包括物理传感器、滤波器和振荡器。1998年，霍斯利博士获得了加州大学的机械工程博士学位。初期他在加州大学戴维斯分校担任教员，此后，在DiCon Fiberoptics和惠普实验室担任要职，并参与创立一家光学器件公司——Onix微系统。霍斯利教授曾获得美国国家科学基金会职业奖和加州大学戴维斯分校工程学院的优秀青年教师奖。霍斯利教授合著100余本出版物和10余项专利。

部分演讲内容：

霍斯利教授团队的研究领域

多种压电材料性能对比

超声波应用

手势识别方法

超声波手势识别

目前已有的超声波传感器

MEMS超声波传感器

未来应用：超声波指纹传感器