光学MEMS及显示技术：未来眼前更多彩！
2014-10-31 09:21:42   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

2014年10月28日，借着“IC China暨中国电子展”的东风，由中国物联网研究发展中心、中国传感网国际创新园、中国电子器材总公司、中国微纳技术俱乐部、无锡麦姆斯咨询有限公司主办的『第十二届“微言大义”MEMS研讨会：光学MEMS及显示技术』在上海新国际博览中心论坛NI馆会议区隆重召开，专业听众超过80人。

本次会议是2014年度压轴大戏，会议内容丰富多彩。无锡微奥科技有限公司MEMS研发经理陈巧博士介绍了MEMS微镜及其应用。其中，微奥MEMS微镜基于电热驱动原理，具有大角度、大位移、低电压、大镜面、高镜面填充率、差分驱动等显著特点。应用包括MEMS微镜在化学分析中的应用--FT光谱仪，MEMS在形貌检测中的应用--3D形貌测量仪，MEMS在医学检测中的应用--内窥OCT系统。

上海矽睿科技有限公司光学MEMS部门负责人吴亚明博士介绍了光学MEMS技术及其光通信应用，报告中指出光学MEMS是光束操控的最佳技术，也被视为MEMS市场中的高价值应用领域，单价高、附加值高。MEMS技术撬动数百亿美元的智能光通信设备市场。目前矽睿科技成功研发出国内首款5V驱动MEMS VOA芯片，达到国际先进水平。

中科院西安光机所工程研究中心韩凤芹研究员介绍了中科院西光所知识创新工程项目：数字超快光阀微显示芯片技术，该项目历经1年零3个月年完成设计、流片及测试，成功研发出国内第一颗有显示功能的320x240阵列微镜显示芯片，有望打破德州仪器（TI）的垄断地位。目前需要产业链和资金合作伙伴，以实现微镜显示芯片（DMD）的商业化。

观众对数字超快光阀微显示芯片技术项目提问

Innovative Micro Technology中国区总经理Joseph Luo介绍了IMT公司的开放式MEMS代工服务及在光学MEMS工艺方面的经验。作为美国最大的纯MEMS代工厂，IMT拥有近15年的MEMS工艺开发经验，客户案例超过350项，主要方向涉及光学MEMS、微流控芯片、RF MEMS等高附加值产品。IMT除了现有的一条6寸线，还在建设一条8寸线，以满足更多客户的量产需求。

WaferPlus创始人兼CEO黄硕彦介绍了MEMS光学技术原理与应用，内容从光的基本性质到玻璃材料及其应用。光学以玻璃为主要材料，重点讲解了Borofloat 33、无碱玻璃、滤光片与石英，此外还介绍了光谱调整方式（镀膜）、芯片加工工艺（刻蚀、阳极键合等）。

香港汇视科技有限公司创始人彭华军介绍了微显示在智能眼镜的应用与光学设计。智能眼镜光学显示设计是非常复杂的工程，涉及微显示技术、近眼光学、视觉系统、电子系统、人体工学、时尚设计等多个方面；要综合考虑性能（光学与电子）、穿戴舒适性、以及时尚性。用于智能眼镜的微显示技术主要有LCoS，LCD 与OLED，目前已有的产品大多用LCD与LCoS，各有应用； 长远看OLED有优势，但价格太高，成为主流尚需时日。

佐臻股份有限公司中国区总经理李传勍以生动的应用案例热情地阐述了智能眼镜之光学成像技术与应用趋势。目前，智能眼镜“解放双手，提高效率，节约成本”的价值，逐渐在各行各业中突显出来，中国加速发展智能眼镜刻不容缓。国外已经将智能眼镜运用到多个行业领域，并提升了工作效率。如在工厂应用上，智能眼镜可以通过云端下达指令，告诉工人要做什么，为工人带路，标识工作位置，指导工人检货、理货等。在医疗领域最简单的护士扎针，护士可以通过智能眼镜红外线看到血管，这能解决血管难找，扎伤患者的尴尬。

背景知识：

MEMS技术与光学技术的结合被称为光学MEMS（Optical MEMS），也称为MOEMS（MOEMS：Micro Opto-Electro-Mechanical System），是MEMS技术的一个重要分支。光学MEMS技术在上世纪80年代左右开始起步，至今发展已经有三十多年的历史，其技术应用主要分为光学执行器、光学传感器、光学加工制造三类。

MOEMS为光学技术的发展带来了新的发展动力和机遇，一大批新器件、新制造技术推动了光学技术的快速发展。光学MEMS执行器是将微型光学元件与MEMS驱动器有机组合而构成微型、动态的光学系统，主要应用于智能光通信器件、光显示和智能移动终端。光学MEMS传感器是将微型光学元件与MEMS敏感结构有机组合而构成对输入光信号进行感测或分析的微型光学传感器。基于MEMS技术的微细加工、批量制造能力，为微光学元件的制造提供了现代化的加工技术。

除了MEMS显示技术，目前主流的高清显示技术还包括LCoS（硅基液晶）、LCD（液晶显示技术）、OLED（有机发光二极管）、PDP（等离子显示）等。其中，LCoS技术原先应用于微投影应用，不过其因具有省电、体积小、虚拟屏幕尺寸优势，适合应用在智能眼镜产品（Google Glass智能眼镜采用LCoS技术），让使用者能够获得犹如大尺寸画面的视觉享受。

会议详情及报告下载：www.MEMSeminar.com