MEMS高级培训课程：沉淀经典，历久弥新！
2019-06-11 08:32:08   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

春归去，夏到来！告别细雨霏霏，迎来阳光明媚，相聚苏州，共享佳课！由麦姆斯咨询主办，上海传感信息科技有限公司和华强电子网协办的《MEMS高级培训课程-2019年》，于2019年5月31日至6月2日在苏州市工业园区纳米城圆满举办！

《MEMS高级培训课程-2019年》学员合影留念

《MEMS高级培训课程》历经三年的沉淀，2019年在传承经典的基础上再次进行了创新，通过结合当下热门MEMS器件以及产业实际需求，麦姆斯咨询精心策划了2019年培训内容，以经典MEMS器件为出发点（包括MEMS加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器、光学传感器、气体传感器、MEMS谐振器和振荡器等），带领学员们研习MEMS器件的设计、制造、封测和应用等重要环节，同时为增强大家的学习体验，麦姆斯咨询特设MEMS产线参观环节，在感受浓浓的产业化气息的同时，也能够让学员们获得的理论及时变现。

培训前一日的雨，未能打消学员们求知的积极性，一大早便有学员提前入场，课程开始之前还在走廊参观器件展示，为早到的学员打call！！！

学员们专注的侧影，是最美丽的风景

学术造诣精湛之讲师篇

5月31日上午，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所的王跃林老师为大家开启了MEMS产业链之旅。王跃林老师铿锵有力的语调瞬间吸引了大家的注意，凭借在国家级重大项目数十年的经验，为大家分享了自己对MEMS发展的看法以及做好MEMS研究与产业化工作的重要点。说到为什么需要MEMS，王跃林老师提到了MEMS在科学技术上的重大突破，应用领域也十分广泛（军民两需），同时讲解了典型的MEMS器件，包括压力传感器、加速度计和红外气体传感器等，虽然MEMS产品很难做，但这小小的“机器”却有大大的机遇。王跃林老师在课堂上还提到，近年来MEMS市场在不断细分，呈现山头林立的景象，但至今仍然没有任何一个国家可以垄断整个MEMS市场。王跃林老师幽默地声称我们孵化的苏州感芯微系统技术有限公司优势在于能够提供“保姆式服务”，通过发挥本土优势和深入客户，以寻找大的需求，创造新的需求，拉动技术进步。他认为，中美贸易战让国家重视芯片，中国MEMS企业的机遇远大于挑战。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员王跃林老师的授课风采

5月31日下午，同样来自中国科学院上海微系统与信息技术研究所的焦继伟老师为大家讲解了MEMS加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器的关键技术及典型应用。课程伊始焦继伟老师即以两句话总结了目前的市场大趋势——“‘万亿传感器’的AIoT时代，MEMS为王”以及“‘万物皆运动，控制靠感知’，惯性传感器地位依旧”，由此引出此次培训的主题：惯性传感器。焦继伟老师从惯性传感器的基础理论知识入手，详细介绍了其器件结构、检测/换能原理以及主要的制造工艺等，分别从学术视角和产业视角分析了惯性传感器的市场趋势和突破点。随后焦老师又对MEMS热潮的引领者——加速度计进行了讲解，包括其设计约束、动作形态和检测方法等，同时对于学员关注的“压阻vs.电容”、“开环vs.闭环”问题也一一做了解答。说到惯性传感器，最不可或缺的另一器件就是陀螺仪了。焦继伟老师此次也是从陀螺仪的历史发展和分类说起，并结合博世（Bosch）的产品案例，全方位地向大家展示了陀螺仪设计过程中的关注点以及振动陀螺的关键点等。课程最后，焦老师分析了目前惯性传感器市场的国内外状况，他总结道，目前我国在惯性传感器研究领域还处于“四缺”阶段（缺供给、缺技术、缺龙头、缺人才），但焦老师也指出，随着国家对传感器行业发展扶持力度加大，技术转化支持政策不断出台，惯性传感器市场的发展速度也在加快，未来消费类应用、工业级以及军工级应用的市场会急剧扩大，机会将会留给有准备的企业和人才！

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员焦继伟老师的授课风采

6月1日上午，首先由山东大学的陶继方教授为大家带来关于光学传感器和气体传感器课程的讲解。在硅基微纳光电子器件的设计、加工和封装工艺方面拥有多年经验的陶继方老师，此次课程先对MEMS波长可调激光器的技术发展趋势以及结构进行简单阐述，从而引出MEMS光学传感器的基本工艺。陶老师提到，MEMS器件设计占20%，而工艺技术要占到80%，可见制造工艺的重要性。为了能够让学员对此类型传感器有更清晰的认知，陶老师还拿出了自己研究成功的器件与学员分享。对于光学器件的讲解，各位学员听得津津有味，时不时的提问也激发了其他学员的积极性，整个课堂的讨论气氛异常热烈，陶继方老师也是毫不吝啬、有问必答，令学员们茅塞顿开。课程最后，陶继方老师又分别从高灵敏度VOC气体监测、光子集成高精度微型露点传感器以及集成红外气体传感器的角度对微型环境传感器进行了深入讲解，通过对其工作原理及测量结果的对比分析，再结合市场的发展趋势分析，与学员们分享了一些个人建议：目前的环境传感器市场比较分散化，即使是全球排名前10的公司加起来，占据市场份额还不足65%，“二八定律”似乎在这个市场还未生效，因此未来谁将在激烈的市场竞争中胜出还需拭目以待。

山东大学陶继方教授的授课风采

当天上午第二节关于MEMS谐振器和振荡器的课程是由武汉大学的吴国强教授为大家讲解。此次课程吴国强老师先从谐振器和振荡器的概念着手，分析了时钟器件在麦克风、汽车领域的应用，详细阐述了石英和MEMS振荡器之间的对比。吴国强老师说到，目前市场采用的更多的是石英振荡器，因为它的产业链更成熟，但由于抗震性差，目前在汽车领域的应用受到了很大限制，而MEMS振荡器则以其成本和尺寸优势在奋力追赶石英振荡器，未来发展不可小觑。接着，吴国强老师结合目前该市场主要的公司及研究小组，分析了当前主流产品以及产业化过程中的关键问题，其中涉及到谐振器的参数问题，包括振动频率、Q值、温度系数、一致性等，对于材料的选择、如何减少空气阻尼、优化TED（Thermoelastic Dissipation，热弹性损耗）以及温度补偿方案等方面，吴国强老师均细致讲解。课程最后，对于MEMS谐振器和振荡器的工艺讲解，吴国强老师结合自己目前的研究方向，为学员们剖析了其研发产品的系统测试及性能对比，引发学员们深思。课后学员们也是纷纷拿着书本请教吴老师，带着问题来，带着成果走，这正是培训的真正魅力所在！

武汉大学吴国强教授的授课风采

6月1日下午，苏州诺联芯电子科技有限公司MEMS技术经理同时也是我们麦姆斯咨询“最受欢迎讲师”俞骁老师为我们带来了关于MEMS制造工艺的讲解。俞骁老师课程开始首先对MEMS工艺做了简短的概述，通过层层抽丝剥茧，向大家传输了半导体工艺的核心是什么？气体！从而引出通过气体引发出的两项工艺技术：沉积和刻蚀，随后俞骁老师即对薄膜沉积和刻蚀技术进行了详细的阐述。说到如何得到理想的薄膜沉积，俞骁老师说到了几个关键点：厚度均匀性、衬底材料和薄膜附著性好以及具有比较低的应力。对于刻蚀工艺中的湿法刻蚀和干法刻蚀之间的区别，俞骁老师也分别从刻蚀材料和刻蚀试剂方面进行了讲解。当然除了这两项工艺，俞骁老师还为大家着重分析了对光刻和键合工艺，包括其流程和优缺点等。最后，俞骁老师通过向大家展示几个MEMS器件制造实例，加深了学员对于MEMS制造工艺的了解，学员们也表示此次课程内容更具有工作指导性。俞骁老师在课程最后说到，从事MEMS，不仅要“会”设计，还需要“懂”设计，更需要“懂”制造工艺，MEMS领域目前仍处于变化多端且困难重重的阶段，这将是一项多学科交叉学习的过程，制造工艺作为MEMS产业链的前端，尤其需要关注和学习。

苏州诺联芯电子科技有限公司MEMS技术经理俞骁老师的授课风采

6月2日上午，中国科学院微电子研究所研究员和博士生导师，同时兼任赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司首席科学家的陆原老师为大家带来了此次培训的最后一场课程——《MEMS封装技术》。陆原老师作为扇出型晶圆级封装领域资深专家，从事MEMS器件制造和封装研发工作二十余载，此次课程从MEMS封装技术概述入手，深度对比分析了MEMS分立器件级封装技术、MEMS晶圆级封装技术以及系统级封装技术的工艺区别，同时结合其实际应用及案例分析，为学员全面分析了封装面临的挑战以及如何选择封装技术。在对分立器件级封装技术的讲解中，陆原老师为大家总结了限制该技术的两个关键点：成本和热机械应力，根据自身需要在成本和应力间找到平衡点，才能选到合适的封装技术。对于晶圆级封装技术的扇入和扇出型封装，陆原老师也着重讲解了其主要应用以及区别所在，并用Apple Watch举例，众多采用FIWLP封装的电子器件在Apple Watch中得到应用。而对比FIWLP，FOWLP在设计上更“随心所欲”，因为它独立于芯片尺寸，灵活性更高。陆原老师提到如今随着封装技术发展和实际的市场应用需求，在成本可控的情况下，封装形式逐渐从板级过渡到了SiP（系统级封装）级别，以实现更小体积、更小功耗、更多功能信号的集成输出。最后，陆原老师还向大家展示了几例典型的MEMS分立器件级封装及晶圆级封装的案例，其中包括加速度计、麦克风、RF MEMS器件等。MEMS封装一直被视为MEMS器件的“The Achille’s Heel”（致命弱点），因为MEMS封装和测试环节占据了MEMS产业链70%的成本，所以MEMS封装是MEMS器件成功与否的关键因素，最合适的封装能使MEMS产品充分发挥功能。

中国科学院微电子研究所研究员和博士生导师陆原老师的授课风采

理论及时变现之产线参观篇

为进一步巩固培训效果，加快理论转化为实践的速度，本次培训课程，麦姆斯咨询依循传统，精心安排学员进入苏州MEMS中试平台的制造工艺产线和苏州捷研芯纳米科技有限公司的MEMS封测产线参观。

苏州6英寸MEMS制造产线作为中国首个市场化运作、全开放的MEMS中试平台，可提供MEMS专业研发与代工服务，中试线的赵成龙老师为学员详细介绍了该条产线的机台信息、工艺能力、检测检验能力以及主要产品（包括电容式MEMS麦克风、MEMS压力传感器、VOx非制冷红外探测器、MEMS陀螺仪、MEMS微镜和MEMS喷墨打印头）等方面的内容。同时也介绍了刚刚落户于中试平台的“PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室”规划，并向学员发出了邀请：欢迎大家携手合作，共同打造中国首个对外开放的PZT压电薄膜加工平台。

在捷研芯封测产线的参观中，王建国老师首先向学员们详细介绍了捷研芯“OEM + ODM”的独特服务模式，并通过视频方式对MEMS封装机台及封装技术以及该公司目前研发的气体传感器、SAW滤波器等产品进行了详细的讲解，然后带领学员在参观走廊中实地了解产线。

在整个参观过程中，学员近距离观察了两条产线，对MEMS制造和封测产线以及完成的产品有了更加直观深入的理解。参观结束后也与主讲老师详细交流了实践过程中遇到的问题，寓学于问，更有助于学员们对课程的整体理解。

苏州捷研芯纳米科技有限公司王建国经理带领学员参观MEMS封测产线

苏州MEMS中试平台的赵成龙经理带领学员参观MEMS制造产线

学习氛围浓厚之学员篇

整个培训期间，交流讨论环节学员们的积极参与、虚心请教、讲师与学员的思维碰撞都令在场的每一位麦姆斯咨询工作人员感到高兴，因为在这里，我们能看到每一个学员都在进步，大家三五成群地交流、时不时地咨询讲师都是一道靓丽的风景线。学员们也给予了我们此次培训高度评价，说到本次培训内容丰富，涉及面广，“上接天线、下接地气”：既有整体宏观讲解，又有典型应用举例；既有对行业的分析，又有对经典器件的剖析；既有理论知识学习，又有具体操作方式的指导，此次培训真是收获颇丰！

现场提问踊跃，课后讨论热烈

至此，麦姆斯咨询举办的《MEMS高级培训-2019年》圆满结束！各位学员的认可和鼓励都是我们前行道路上的动力和支持，麦姆斯咨询的每一位工作人员都将不忘初心，继续逐梦而行！我们将秉承精益求精、不断进取的精神，持续为大家带来更多的精品课程！短暂的告别是为了再次强势归来！亲爱的学员，我们在此等候着您！

推荐培训：

《3D成像与传感器件培训课程》将于7月19日~7月21日在无锡举行，本课程邀请3D视觉产业链优秀讲师，以核心元器件为出发点，解析3D成像与传感技术：（1）红外光源技术，深度剖析VCSEL；（2）MEMS光束操纵技术，覆盖多种MEMS微镜原理（静电式、电磁式、电热式、压电式）；（3）液体透镜；（4）衍射光学元件（DOE）；（5）高性能光电探测：SPAD/SiPM；（6）光电探测面阵：ToF图像传感器；（7）光学MEMS和传感器仿真技术。

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