专访memsstar总经理：Tony McKie
2013-03-19 22:31:38   来源：微迷   评论：0   点击：

——SEMICON China 2013

作者：王懿

随着MEMS市场的爆发性成长，越来越多的MEMS制造厂应运而生。根据Yole Development的研究报告表明：2012年MEMS设备市场规模达到5亿美元。而随着国内MEMS代工厂的发展，以及苏州、淄博等地方政府的中试平台建立，memsstar也希望在中国寻找到更多商机。SEMICON展会之际，上海新微电子有限公司王懿和曹明霞特别对memsstar总经理：Tony McKie进行了专访，请他对MEMS市场动态、memsstar的MEMS干法腐蚀工艺及设备进行了详细介绍，并就双方共同关心的话题进行了探讨，以下是采访纪要。

1. 请您介绍一下memsstar公司及其产品。

Tony：来自苏格兰利文斯顿的memsstar是一家拥有近10年MEMS设备经验的公司。自从2004年memsstar进入MEMS领域，专注于开发MEMS刻蚀和沉积工艺设备，并获得全球市场认可。memsstar的干法释放刻蚀工艺是非常有竞争力的技术，可以消除湿法工艺造成的结构黏附问题。memsstar的MEMS设备和工艺经验可以确保客户成功地过渡到干法工艺，并能覆盖从器件研发到大批量生产的各个阶段。

2. 您如何看待全球MEMS市场及中国MEMS的发展？

Tony：随着智能手机、平板电脑等消费电子的爆发，全球MEMS产业快速发展，每年的市场增长率都超过15%。苹果和三星是消费与移动应用领域的两个最大MEMS买家，如加速度计已经成为移动设备标配、苹果的iPhone 5中含有3个MEMS麦克风，三星的Galaxy S3和Note 2都含有MEMS压力传感器。展望未来，每个智能手机可能会拥有10个以上mems器件，因此我非常看好MEMS市场前景。

虽然中国的MEMS产业刚起步，代工厂还不够成熟，但是我认为未来MEMS制造和封测优势在中国，所以将中国作为重点关注区域，希望拓展更多的中国市场。

3. 你们的MEMS干法刻蚀设备的销售情况如何？哪些地区或国家使用？

Tony：memsstar的这款设备非常畅销，销售地区涵盖美国、欧洲、日本、中国和台湾，可以说有mems制造的地方，就有我们的设备。近3年，干法刻蚀设备的销售年增长率均超过20%。市场上的增长反映了我们为MEMS行业带来的重要工艺经验的价值，并使得我们成为一家实力强大的设备公司。目前我们的中国客户以科研单位居多，如中国电子科技集团公司旗下的研究所。

4. 你们的MEMS干法释放刻蚀工艺的优势？可以生产哪些MEMS器件？

Tony：MEMS技术日益增长的市场机会，正在对制造商们提出更高的要求，以提供多样化的器件，同时提高质量和性价比。为满足这些需求，干法刻蚀工艺起着至关重要的作用。我们的干法释放刻蚀工艺利用无水HF或XeF2来去除氧化物牺牲层，从而释放MEMS机械结构，并且完备的SVR工艺组合支持氧化物和硅释放技术，实现无以伦比的刻蚀率、卓越的均匀度和非常高的良率，可用于加速度计、陀螺仪、麦克风、RF MEMS、压力传感器和红外传感器的生产。

与传统的湿法刻蚀工艺相比，SVR工艺具有以下优势：（1）完全去除牺牲层而不损害机械结构或引起黏附；（2）工艺过程易于控制，具有很高的重复性和均匀性；（3）省去湿法工艺中的表面准备、引入酸、中和以及随后的干燥等步骤。

5. 你们的MEMS服务也很有吸引力，能简单介绍一下吗？

Tony：memsstar拥有很多MEMS专利和下一代MEMS制造技术，在刻蚀和沉积工艺领域经验丰富，可为Fabless公司提供专业的工艺设计和材料选择服务，使得客户更快实现量产，并获得优异的器件性能。另外，我们还为客户提供定制化的翻新设备解决方案，最大程度满足每款设备的独特需求。