应用材料公司携手MEMS制造商开创感知“芯”世界
2013-06-25 13:58:44   来源：应用材料   评论：0   点击：

MEMS最早应用于汽车和打印机，如今越来越多的消费电子产品采用MEMS传感器以实现各种智能功能，但同时也对MEMS传感器提出更高要求：更好的性能、更小的尺寸、更低的成本。由于MEMS产业的标准化尚未落实，仍然存在“One Product, One Process”的MEMS定律，这给半导体设备制造商既带来了巨大的技术挑战，又创造了新的市场商机，并推动MEMS工艺不断革新。YoleDeveloppement预计MEMS相关制造设备市场将在接下来五年内，将以5.2%的复合年增长率从2012年的3.78亿美元增长至2018年的5.1亿美元。

目前，MEMS制造商通过增加产能、采用更大尺寸的晶圆，以及与设计公司合作研发更小的芯片来降低生产成本。其中，经量产验证的、稳定且高良率的设备是这些创新的关键要素之一。应用材料公司完全了解MEMS传感器的设计与制造，并采用业界领先的工艺技术生产MEMS设备，包括深反应离子刻蚀、物理和化学气相沉积、外延淀积、释放腐蚀、化学机械研磨等设备，如图1所示。此外，通过与世界领先的科研机构合作，应用材料正努力研发下一代大批量、低成本的MEMS制造工艺。先进的设备、一流的服务和自动化软件，是应用材料公司帮助MEMS制造商取得成功的“三大法宝”。

图1 应用材料公司研发的8英寸MEMS设备

“MEMS产业在中国如火如荼地发展，众多IC代工厂和地方政府谋划布局，新建MEMS生产线。这是应用材料如此贴身中国市场的原因，这里有庞大的客户群。应用材料拥有遍布全球的服务网络和支持架构，目前中国地区拥有1220名员工，其深厚的技术专长和最佳的解决方案可持续满足MEMS制造商的产能需求。”负责应用材料200mm半导体设备业务的全球副总裁原铮博士 (Dr. Zheng Yuan) 充满自信地说道，“相比其他设备供应商，应用材料优势明显。调节设备参数、优化工艺的效果可以直接在我们位于西安的全球开发中心最尖端的设备上看到成效。此外，MEMS制造商不仅需要可靠的设备性能，还要确保运营成本获得改善。应用材料公司提供的解决方案，可提高设备的正常运行时间和工厂效率，可让制造商专注于芯片制造，同时降低每片晶圆的制造成本。”据中国微纳技术俱乐部调研，中国涉及MEMS的代工厂主要有：中芯国际、上海先进、华虹-宏力、华润上华，此外还有苏州、淄博、上海等地方政府正在搭建MEMS中试平台。

图2 应用材料公司全球副总裁原铮博士

在设备服务方面，应用材料通过对所安装的基础系统进行全面的软硬件升级来改善设备的性能，并提供更多的附加功能。（1）设备/技术转化：可配置的解决方案包括晶圆大小转化、系统重新配置、反应腔转化和技术延伸。（2）翻新：翻新产品不仅经济而且风险低，和全新设备一样，遵循同样经过ISO认证的制造标准，并提供同等水平的服务。（3）升级：可提供各种升级服务，帮助提高产量，提升良率，实现能效目标并降低PFC排放。（4）排放系统：应用材料公司引领业界首先推出全面集成的工厂排放系统解决方案。（5）自动化软件：应用材料公司拥有一套集成的制造自动化软件系统，可为MEMS制造商提供真正的业务绩效。（6）咨询：咨询团队和客户密切合作，找到解决方案应对设备层面和厂区层面的挑战。通过基准设定、分析和提供定制的解决方案，帮助客户降低成本，减少废弃物，提高产量，实现绩效的大幅改善和快速投资回报。

过去三十年信息技术经历了计算时代、通讯时代，当前正步入“感知”时代，传感器市场呈现爆发式增长。应用材料公司正努力扩大MEMS设备的产品组合，并提供一套完整的MEMS解决方案（包括MEMS封装技术，如硅通孔和晶圆级键合），以支持各种MEMS传感器芯片的关键工艺研发，携手MEMS制造商开创感知“芯”世界。

公司简介

应用材料公司创建于1967年，公司总部位于美国加利福尼亚州圣克拉拉，是全球最大的半导体设备和服务供应商，主营业务分成四大部分：硅系统、显示、能源与环境解决方案以及应用材料全球客户服务。应用材料公司的创新设备、服务和软件被广泛应用于先进半导体芯片、平板显示器和太阳能光伏产品制造产业。应用材料公司于1984年进入中国，目前在上海、北京、天津、苏州、无锡、深圳和大连有办事处或服务中心，在西安设有全球开发中心，该中心提供独特的200毫米演示及开发能力，支持现行及先进CVD、PVD、CMP及Etch的演示与应用。