爱德万测试电子束微影系统获产学界肯定
2013-10-26 07:50:33   来源：微迷   评论：0   点击：

爱德万测试（ADVANTEST）宣布全新F7000电子束微影系统获得产学界下单肯定，三笔订单分别来自日本东京大学、京都大学与一家半导体客户。爱德万测试预订于2014年3月年度财务结算前内完成交货。

F7000系列利用电子束技术将精细接脚间距图样直接写入基板，可为目前半导体研发所关注的1X纳米制程提供业界理想的测试产能。此套系统同时自动清洗功能与调整器功能，前者可确保设备长期稳定运作效能，后者则支持不同尺寸、形状、材料的基板测试。

目前这三家F7000系列客户除将此系统应用于半导体晶圆和其他类型与尺寸的基板研究范畴外，还将运用于MEMS/非MEMS、生物芯片、创新元件、电子零组件等领域的技术开发。这三笔订单意义深远，堪称爱德万测试跨入新市场，运用先进电子束微制造技术开创下一代电子元件研究发展的策略性成长里程碑。

爱德万测试亦深耕纳米和太赫兹（Terahertz）技术之发展，积极开发新兴市场，近日更推出攸关光罩制造的多视角量测扫描式电子显微镜，以及突破现有技术限制的三维成像暨分析工具。