热烈庆祝ELEDE刻蚀机成为北方微电子首个客户端安装量超过100台的单系列产品
2015-04-01 20:53:46   来源：微迷   评论：0   点击：

2015年伊始，随着北方微电子第100台ELEDE®系列刻蚀机在客户端安装、调试工作的顺利完成，北方微电子——专注于高端半导体装备及工艺解决方案的国产设备商，实现了其ELEDE®系列刻蚀机客户端安装量的百台突破，这是国产高端装备在泛半导体领域市场化道路上的重要里程碑，它见证了国产高端设备在LED和SiC功率器件领域市场的全面突破。

北方微电子ELEDE®系列刻蚀机，集成了高密度等离子源、快速响应的全自动匹配射频系统、精密的腔室温度控制系统以及稳定的高精度压力控制系统等多项先进技术，技术水平处于市场领先地位。可广泛适用于LED芯片制程中的图形化蓝宝石衬底刻蚀、电极刻蚀、深槽隔离刻蚀、钝化层刻蚀、红黄光刻蚀等工艺制程，并可拓展应用于SiC功率器件的刻蚀工艺。ELEDE®系列刻蚀机自2010年面市以来，以其优异的性能、卓越的服务、有竞争力的价格获得了客户的广泛认可，在LED 和SiC功率器件领域完全替代进口设备，成为市场首选的明星产品。

截止2015年1月，北方微电子ELEDE®系列刻蚀机在客户端安装量超过100台,遍布海内外近30家芯片厂商，成为北方微电子首个客户安装量超过百台的单系列产品。其中ELEDE®G系列GaN刻蚀机，凭借其先进的技术工艺水平、客户端的稳定运行，2014年全年的新增市场占有率超过80%；ELEDE®系列PSS刻蚀机，紧跟国际先进工艺技术升级，一举获得大客户超过25台批量订单，并率先获得台湾客户的信任，实现海外销售；ELEDE®系列 SiC刻蚀机，成功进入国内最大的微波功率器件制造厂，并通过其高功率SiC通孔刻蚀以及GaN、SiN超低损伤刻蚀技术的工艺认证，成为该工艺设备的唯一供应商。

ELEDE®系列刻蚀机能够成功实现客户端安装量的百台突破，要感谢各位业界同仁给予北方微电子的支持和认可，感谢合作伙伴的至诚合作，最重要的是要感谢客户、感谢国内这些优秀的外延芯片企业对北方微电子的信赖、对国产设备的认可和包容。

在今后的发展道路上，北方微电子将继续以产业报国为己任，“创造精良，打造民族自尊”。致力于成为一家值得信赖并受人尊重，在微电子装备领域拥有领先技术，具有国际影响力的高端装备及工艺解决方案提供商，北方微电子也期望能有更多的系列产品突破百台记录。