走过40载，KLA-Tencor持续深耕中国开发先进检测技术
2016-08-23 19:47:11   来源：微迷   评论：0   点击：

今年适逢KLA-Tencor公司成立40周年，KLA-Tencor中国区总裁张智安表示，KLA-Tencor现于全球17国拥有5600多位员工。2016财年，KLA-Tencor营收表现来到30亿美元。从硅片检测到线宽量测，以及光罩部分，KLA-Tencor都在业界处于领先水平。除了这些业务以外，KLA-Tencor还提供技术支持与服务，帮助客户实现更大的生产价值。KLA-Tencor在中国的总部位于上海，在北京、天津、苏州、无锡、大连、西安、武汉、深圳都设有分支机构。

KLA-Tencor 的光罩产品事业部 (RAPID) 副总裁兼总经理熊亚霖博士表示，KLA-Tencor于40年前开发的第一项产品就是光罩检测设备。光罩缺陷对良率影响甚巨，这也是为什么每一片光罩都需要经过多次检测。无论是光罩厂或是硅片厂都需要非常优秀的光罩检测设备的辅助。

由于EUV技术仍无法实现量产目标，目前以193纳米生产光罩，而困难度及复杂度更高，光罩缺陷的检测挑战性亦日益升高。KLA-Tencor针对 10 纳米及以下的掩膜技术推出了三款先进的光罩检测系统，Teron™ 640、Teron™ SL655 和光罩决策中心 (RDC)。所有这三套系统是实现当前和下一代掩膜设计的关键，使得光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显着并严重损害成品率的缺陷。熊亚霖博士表示，KLA-Tencor所提供的设备已能应用于第一代EUV技术的量产，之后亦能以升级方式量产新一代的EUV技术。

利用创新的双重成像技术，Teron 640 检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度，对先进的光罩进行准确的品质检验。Teron SL655 检测系统采用全新的STARlightGold™ 技术，帮助集成电路制造商评估新光罩的质量，监测光罩退化，并检测对成品率至关重要的光罩缺陷。

Teron 640 是建立在光罩业界领先的Teron光罩检测平台之上，通过采用193 纳米光源和双成像模式（结合了高分辨率检测和基于缺陷成像性识别的空中成像），Teron 640支持先进的光学光罩检测。Teron SL655 的核心技术STARlightGOLD能够在新光罩质量检查时从光罩生成黄金参考，然后使用此参考进行光罩合格性的重新检测。Teron SL655 拥有业界领先的产能，支持更快的生产周期和检测更多数量的光罩，满足先进的多图案技术光罩技术。

除了持续提供高端设备给中国的客户，KLA-Tencor非常重视中国市场，在中国持续投资以实现进一步的发展，并体现了中国在全球半导体产业重要的战略地位。KLA-Tencor透过半导体检测与量测技术，透过最快的速度以最有效的方式，帮助客户解决在生产时面对的良率问题。KLA-Tencor立志于帮助中国客户一起提升良率，降低生产成本，提高生产效率。