memsstar和Plasma-Therm携手加强北美地区MEMS技术供应
2017-03-03 20:09:37 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
该协议使Plasma-Therm获得来自memsstar的所有蚀刻产品（HF和XeF2）以及自组装单分子层（self-assembled monolayer, SAM）产品的独家分销权，扩充了Plasma-Therm深硅刻蚀（DSE）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）产品组合。
据麦姆斯咨询报道，近日，专业市场半导体工艺设备供应商memsstar和Plasma-Therm联合宣布双方已签署北美地区的分销合作协议。
该协议使Plasma-Therm获得来自memsstar的所有蚀刻产品（HF和XeF2）以及自组装单分子层（self-assembled monolayer, SAM）产品的独家分销权，扩充了Plasma-Therm深硅刻蚀（DSE）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）产品组合。
通过合作，两家公司现在可以基于双方经过生产验证的VERSALINE®、Apex、ORBIS、XERIC以及AURIX系统，为北美地区的客户提供完整的MEMS制造解决方案。
“与Plasma-Therm的合作是我们公司北美地区战略扩张的重要一步，” memsstar首席执行官Tony McKie说，“两家公司的产品整合使我们能够利用覆盖刻蚀和沉积工艺的解决方案，更好的服务美国MEMS制造商。两家公司技术整合带来的极具竞争力的优势，令我们跃跃欲试。”
“这是一个重要的里程碑，我们已经具备为MEMS制造商提供整合的DSE和HF气相技术解决方案，” Plasma- Therm业务发展经理Yannick Pilloux评价道，“提供更丰富产品的同时，也使我们更深入地理解工艺集成，这将最终加强我们和客户之间的合作关系。”
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