生物医疗行情看涨，MEMS厂商布局微流控代工
2012-11-06 10:05:28   来源：微迷   评论：0   点击：

MEMS微流控逐渐在生物医疗市场崭露锋芒，瞄准此商机，MEMS设计代工厂—IMT（Innovative Micro Technology）正利用其3D MEMS晶圆制程专利，扩大整合微流控、微阀门及光学元件，期望打造定制化、高速与高精准的细胞分选方案，吸引医疗设备业者眼球。

IMT业务发展副总裁Craig T. Trautman认为，MEMS晶圆代工潜力巨大，特别是工业、医疗等高端应用市场，更将涌现庞大定制化MEMS器件设计需求。

IMT业务发展副总裁Craig T. Trautman表示，近期IMT量产22纳米立体堆叠MEMS微流控芯片，已获Owl Biomedical新一代细胞分选系统--Nanosorter采用，为生物医疗产业带来重大技术突破。该芯片基于IMT独家硅通孔制程，可堆叠四到五片22纳米MEMS晶圆，有利于整合微流控、微型阀、光学及电磁致动器等器件，进而提高芯片的工作效率与精准度，并大幅缩减芯片体积。

据悉，IMT与Owl Biomedical合作开发的高速细胞分选系统，将细胞存活率提高至97%，检测吞吐量则高达每小时两亿个细胞。从而实现快速辨别细胞好坏，可用于监控人体状态、改善癌症治疗方法，以及个人化药物调配等。Trautman强调，此方案完全发挥MEMS微流控的应用价值，将快速打开生物医疗市场，并引爆一波高品质、定制化MEMS器件设计与代工商机。

除生物医疗应用外，由于IMT拥有上百项MEMS制造专利，故也为射频（RF）、光网络、导航、能源及测试领域提供完整MEMS设计及代工服务。旗下产品阵容涵盖MEMS微流控、微阀门、微泵、光学MEMS、磁力计、加速度计、陀螺仪、晶圆级封装（WLP）与TSV制程等；还可提供MEMS IP整合平台设计构思，协助客户完成定制化芯片。

Trautman不讳言，尽管多半MEMS市场仍掌握在整合元件制造商手中，然而，随着MEMS技术在移动、工业级医疗应用领域大放异彩，芯片代工需求亦跟着水涨船高，将逐渐让MEMS产业跳脱IDM统包供应模式。也因此，IMT遂致力推广高价值MEMS代工业务，现同一时间皆有35～40个代工订单进行中，产能利用率也几近满载，高达99%；并已开始部署MEMS微流控IP授权与设计服务攻势，加快脚步圈地生物医疗市场。

看准MEMS出货量将逐年递增，且产品研发时程也将更加紧缩，Trautman透露，IMT已投入MEMS与CMOS晶圆堆叠技术研发，未来可望透过打线键合方式，制作更高集成度的MEMS传感器，刺激代工市场需求继续攀升。