超越摩尔 创新制造
2013-09-10 21:14:27   来源：半导体制造 超越摩尔   评论：0   点击：

上海华虹宏力半导体制造有限公司执行副总裁 傅城博士

随着MEMS市场的不断增长，除了不断涌入的各种初创公司，以往由IDM模式主导的MEMS市场也在悄悄发生着变化——传统IC代工厂也已进入了MEMS代工领域，如台积电（TSMC）、格罗方德（GLOBALFOUNDRIES）。由于80%的MEMS生产设备是CMOS通用设备，其它20%是MEMS特有的设备。因此通过添加一些设备，在IC代工厂的8英寸产线上制造MEMS是完全可行的。目前MEMS产线正逐渐由6英寸转向8英寸，一些IDM厂商不愿再投入大量资金建设8英寸线，这将促使MEMS代工规模的扩大。

尽管MEMS和IC在外观和封装上有相似性，但是实质上MEMS在结构设计、制造工艺等方面与IC是不同的，常被看做是三维微机械结构。由于MEMS产业的标准化尚未落实，仍然存在“One product, One process”定律。这暗示着每种产品都要从头开始设计工艺，但是很多工艺是相通的，可以应用在多种MEMS器件中。针对单个产品进行的MEMS工艺开发时间长、成本大，而MEMS晶圆代工产业的重点就是尽可能减轻这种负担，实现并行处理多项工艺开发项目，并尽可能以最有效的方式利用各种工程资源。

通常MEMS代工业务模式主要有三种：第一种是采用代工厂标准工艺（Foundry Standard Process），第二种是联合定制工艺（Joint Customization Process），第三种是客户专有工艺（Customer Proprietary Process）。不管是先进的工艺还是已经成熟的工艺，上海华虹宏力半导体制造有限公司都会全力推动，缩短客户的研发周期，加快产品的上市速度，预计未来2-4年就可以出一款新产品。目前，8寸晶圆在MEMS制造方面的挑战主要有两个：一是IP保护，因为现在很多IP工艺是属于MEMS设计公司，只不过他们缺乏生产制造能力，因此交给IDM或代工厂生产时，如何保护IP就成为非常重要的工作。二是在工艺方面必须要不断走向节能环保技术。

上海作为我国半导体和集成电路产业的重要基地，也是中国第一条MEMS量产代工平台诞生地，加快MEMS产业发展，对“创新驱动、转型发展”具有重要意义。而当前我国正处于MEMS产业化的起步阶段，急需进行顶层设计，规划重点发展方向，围绕“有舍有取”、“四个聚焦”的要求，制订符合产业化发展特点的实施方案。2008年以来，在国家政策激励下，上海抓住发展机遇，坚持“两翼齐飞、协同发展”的原则，以MEMS设计和制造为核心，推进产业链协同发展，并凭借集成电路产业优势，在国内率先涉足MEMS代工服务。

上海MEMS产业发展尽管取得了阶段性的成果和一定的国内领先优势，但是产品都没有实现大规模量产。其主要原因是起步较晚，缺乏公共研发平台，没有形成完善的产业链。MEMS产业需要半导体产业链各环节的配合，包括基础材料、工艺设备、晶圆代工、封装测试、产品公司、系统集成和终端应用。而中国MEMS产业尤其缺乏代工环节的强有力支持，MEMS代工服务存在工艺开发周期长、良率差、产能低等缺点。因此，上海应发挥成熟的8寸晶圆制造优势，带动上海半导体产业链转型升级和传感器产业创新发展，支撑我国在移动智能终端、汽车和工业、生物医疗和物联网领域走在全球前列。

个人介绍：

傅城博士，上海联和投资有限公司，电子/芯片与平板制造/软件/光电产业投资板块负责人，兼华虹半导体有限公司执行副总裁/上海华虹宏力半导体制造有限公司执行副总裁（分管市场销售/法务/政府项目）。