微针芯片的开发与大规模制备-苏州纳米所
2014-07-02 09:39:38   来源：微迷   评论：0   点击：

微针（Microneedles）与微针阵列可广泛应用于无痛给药与美容领域：比如糖尿病人可利用微针实现自助式无痛注射胰岛素， 减轻长期注射的痛苦；微针可实现无痛穿透皮肤表皮层，促进化妆品在皮肤中的吸收。微针的概念在上世纪70年代即被提出，然而受到技术能力限制，长时间没有进行实验制备与验证。近年来， 随着微纳加工技术的不断进步， 微针与微针阵列的制备与验证开始得到重视，多种微针形貌与制备手段被开发出来，已有部分产品实现产业化。然而微针结构的大规模、低成本制备方法还一直是某些机构的核心机密。

中科院苏州纳米所纳米加工平台依据市场需求，组织技术团队经过技术攻关，成功实现微针阵列的大规模制备。如图1所示，芯片内微针高度150微米，底宽90微米。图2所示为采用6英寸晶圆流片后，划成3mm × 3mm的微针芯片，整体均匀性±2%。微针规格可根据客户需要调整；整个晶圆良率已达80%，还在提高中。

图1 微针结构电镜照片

图2 划成的微针阵列芯片（6英寸晶圆）