X-FAB进入3D时代，开启MEMS传感器产业新世代
2016-01-07 22:35:22   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

X-FAB，这家已经出货超过十亿MEMS器件的晶圆厂，日前又再次发表业界首个为微机电系统（MEMS）三轴惯性传感器提供的开放性平台，一个可以直接从代工厂量产的工艺。那些需要进入新的3D惯性传感器的无晶圆设计（Fabless）公司可以直接在这个工艺上进行设计开发或使用X-FAB的合作设计公司的方案，而且可以直接上量，无需再进行长时间和巨资的工艺开发。X-FAB的开放性平台制程可以加快产品导入市场并保证惯性传感器的质量。

新型的MEMS技术可适用于非常广泛的应用领域，例如手机、消费与游戏类产品、玩具、汽车、机器人、工业与医疗等使用三轴加速度计或陀螺仪。同一个工艺可以生产单轴与双轴的加速度计，而加速度计和陀螺仪也可在同一个工艺中集成在单一芯片上，以实现六自由度的惯性测量单元。

X-FAB的MEMS产品线经理Iain Rutherford表示，”X-FAB开放性平台工艺开启了MEMS产业的新世代。我们正在改写历史，把“一种产品、一套工艺”的限制转换到开放性的平台，此方法给予任任意客户使用世界级质量的工艺做多领域的应用开发，此举能让我们的客户快速地实现他们的目标。”

X-FAB的新技术具备高可靠度、单晶硅的惯性质量与drive-combs、特有的埋层连接技术让单一的金属层可以完成复杂的金属引线键合、还有低寄生电容和EMI防护。三轴惯性传感器的新工艺补足了X-FAB于2003年所建立并已被客户使用的单轴/双轴惯性传感器、压力传感器、与红外线感应热电堆（thermopile）的开放平台技术，其中还包含现成的2g、10g、100g的加速度计IP。为了保证该技术的特性、稳定与高良率，X-FAB对该三轴惯性传感器的技术进行一步一步地质量验证。