苏州MEMS中试平台名列前茅，积极布局压电MEMS并筹建8寸线
2019-12-06 23:03:20 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
日前，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司传出消息，其公司负责的MEMS中试量产平台（以下简称“平台”）目前运行良好，已服务客户60余家、产品180余颗，2019年预计出货超过20000片6寸MEMS晶圆，年出货量在全国MEMS代工线中名列前茅。
日前，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司传出消息，其公司负责的MEMS中试量产平台（以下简称“平台”）目前运行良好，已服务客户60余家、产品180余颗，2019年预计出货超过20000片6寸MEMS晶圆，年出货量在全国MEMS代工线中名列前茅。
MEMS制造环节门槛高、技术含量高，是制约中国MEMS产业发展的瓶颈，也是从实验室到可销售产品的最核心的支撑环节。为构建“研发——中试——规模生产”完整的MEMS产业链链，加快MEMS企业创新和规模化成长过程，2013年，苏州纳米科技发展有限公司（苏州工业园区国资办下属国资公司，以下简称纳米公司）代表苏州工业园区管委会，策划筹建了苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司MEMS中试量产平台（英文名称：MEMS Right）。
该平台得到了工信部等各级政府支持，以支撑苏州工业园区及中国MEMS产业发展为主要使命，完全按照代工模式建立，服务于各类企业、科研院所、研发机构、创业团队，提供研发支持、代工服务，全开放、市场化运营，从根本上解决MEMS设计企业产品化的难题。
平台2014年首颗产品通线，2017年真正实现量产，经过多年的努力，形成了一支完整的高水平技术团队，积累了国内种类最多的MEMS产品量产经验，申请了60多项发明专利，已成为国内工艺种类最全、部分工艺能力最强的MEMS代工线。另外，平台已与日本爱发科签署战略合作协议，共同开发下一代MEMS关键技术——PZT压电薄膜MEMS传感器，明年年初将成为国内首个可量产PZT MEMS器件的产线，为国内企业抢抓下一代MEMS产品先机提供了坚实的基础。在此基础上，平台正计划建设8英寸线，更好地支撑国内MEMS产业发展。
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