利用飞秒激光进行玻璃钻微孔：细长、无裂纹且内壁光滑
2023-01-07 09:48:09   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

法国波尔多大学（University of Bordeaux）强激光与应用研究所（CELIA）激光与物质相互作用研究小组开发出一种使用“千兆赫兹脉冲”模式的飞秒激光进行玻璃微钻孔的新方法。

利用飞秒激光实现在玻璃上钻微孔

在《极端制造（国际期刊）（International Journal of Extreme Manufacturing）》中描述了这项研究使用Amplitude飞秒激光器，在千兆赫兹脉冲状态下工作，以实现一种新的玻璃微加工方法。该方法能够钻出几乎无锥度的细长孔，内壁光滑，玻璃中无任何裂纹。

通常，使用标准单飞秒脉冲的激光钻孔会产生长度非常有限且内表面粗糙的锥形孔。

无需化学蚀刻

这种新的激光与物质相互作用机制允许在一个工艺步骤中直接钻出高深宽比的微孔，而无需任何化学蚀刻。激光脉冲串参数的选择对于实现加工结构的出色质量非常重要。

飞秒激光GHz-burst模式可以为新的应用铺平道路，例如在微电子之类的应用中，硅中介层可能会被玻璃中介层取代。

飞秒激光以千兆赫兹脉冲而不是重复的单脉冲运行，能够与玻璃材料相互作用，结合两者优点：材料中的激光能量沉积分布在更长的时间内，从而产生高效、可控的累积状态，而飞秒激光脉冲出色的微加工质量得以保留。由此产生的自上而下的钻孔可实现细长、无裂纹且内壁光滑的孔。

关于CELIA

CELIA是激光及其与物质相互作用的卓越研究中心。对激光器研发、超短强激光物质相互作用和应用进行研究，从热致密等离子体物理学到激光-分子或激光-原子相互作用。三个基于Ti:sapphire和Yb:fiber的最先进激光驱动器为九个设备齐全的终端站供能，包括二次XUV和X射线源。