住友精密推出MEMS Infinity代工服务，具备PZT薄膜沉积与图案化能力
2024-01-20 11:11:16 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
MEMS Infinity扩大了住友精密的MEMS服务范围，正在推进面向不同行业的MEMS传感器和执行器的开发和大规模生产。MEMS Infinity拥有150毫米和200毫米MEMS晶圆制造线，其中包括PZT专用的图案化设备和高性能外延PZT（epi-PZT）薄膜沉积设备。
据麦姆斯咨询介绍，住友精密（Sumitomo Precision Products）是一家全球领先的高精度工业产品制造商，近期推出旗下MEMS Infinity的代工服务，扩大在MEMS制造生态系统中的作用。MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圆代工厂，通过原型设计和大规模生产，满足客户对MEMS概念设计和评估的不断增长的需求。
MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工业和技术中心，拥有一个20,000平方英尺的洁净室，可以制造多种MEMS器件，包括静电式和电磁式传感器和执行器。MEMS Infinity也是该行业为数不多的提供PZT薄膜组合的MEMS代工厂之一。PZT薄膜是一种可将电能转换为机械能的压电材料，反之亦然。PZT薄膜非常适合用于高性能执行器、微机械超声换能器（MUT）和声学传感器等新兴技术。
epi-PZT晶圆
“住友精密是在MEMS行业三十年的经验基础上发展起来的。”住友精密董事总经理Masahiko Tanaka先生说道，”到20世纪90年代中期，住友精密收购了英国的STS——其制造深反应离子刻蚀（DRIE）设备。到20世纪90年代末，住友精密以我们的附属公司的名义生产和销售MEMS加速度计，以及后来的高精度MEMS陀螺仪。随着MEMS Infinity的推出，我们新的MEMS代工服务将加速高质量MEMS器件的商业化，这些器件符合全球无晶圆厂（Fabless）企业最严格的要求。”
MEMS传感器的整体市场不断增长。预计到2028年，MEMS市场规模将达到200亿美元，其中汽车、航空航天、工业和医疗等高增长市场约占据一半市场份额，MEMS Infinity主要为这些高增长市场提供MEMS代工服务，发挥自己特别关键的作用：提供专有MEMS技术平台以促进创新发展。
关于MEMS Infinity
MEMS Infinity扩大了住友精密的MEMS服务范围，正在推进面向不同行业的MEMS传感器和执行器的开发和大规模生产。MEMS Infinity拥有20,000平方英尺的洁净室，拥有150毫米和200毫米MEMS晶圆制造线，其中包括PZT专用的图案化设备和高性能外延PZT（epi-PZT）薄膜沉积设备。MEMS Infinity使用经过生产验证的工具，符合ISO质量和环境可持续性标准。
延伸阅读：
《电容式微机械超声换能器（CMUT）期刊文献检索与分析-2022版》
《压电式微机械超声换能器（PMUT）期刊文献检索与分析-2022版》
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