美图半导体实现MEMS和先进封装设备的中国梦
2016-02-15 19:46:00   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

微访谈：美图半导体CEO王云翔

采访背景：苏州美图半导体技术有限公司（以下简称：美图半导体）是由长期从事微细加工技术的市场人员与资深的设备研发人员所组成的高科技公司，美图半导体核心人员于2012年获得“苏州工业园区科技领军人才”的殊荣，为公司发展打下坚实基础。美图半导体目前主要的产品是晶圆键合设备、键合对准机、光刻胶喷涂系统及热板等半导体先进工艺设备，经过几年的研发和实验验证，目前这些产品均已为广大用户所接受。为此，麦姆斯咨询采访了美图半导体CEO王云翔先生。

麦姆斯咨询：什么原因促使您创立美图半导体？并选择半导体工艺设备作为创新创业的突破点？您认为该市场规模有多大？

王云翔：半导体设备的国产化一直是人生梦想，在销售国外设备的时就显得格外强烈。而在MEMS和先进封装专用设备领域，在国内只有我们这些熟悉国际各类型设备的人能够承担起这个梦想了。时机成熟，研发准备好，再加上苏州本地的优良创业环境，于是就创业了。

半导体工艺设备是我最擅长的领域，而且在MEMS和先进封装设备的这个细分领域中，国内没有团队能够超过我们。越是细分的市场，竞争越小，越容易生存。而我们所瞄准的产业领域是国内外发展最快的专业领域，在市场的成长性上具有非常大的优势。

目前，我们辐射的国内市场规模大约1亿人民币，国际上大概10亿美元。展望未来，随着3D互连和生物芯片的增长，在中国会形成百亿人民币规模的市场。

麦姆斯咨询：目前，美图半导体的产品有几大方向？主要应用领域有哪些？能否列举一些典型客户案例？

王云翔：目前美图半导体的主营业务是围绕着晶圆键合（wafer bonding）和喷胶机（spray coating）的两大产品线，近十个型号。另外还有红外应力检测设备、匀胶机、热板、解键合机等周边产品。主要应用领域有四个：MEMS器件制造、图像传感器（CIS）器件封装、3D互连、生物芯片。

目前主要用户集中在科研单位，比如清华大学、中科院物理所等。量产用户主要有Sandisk、中芯国际、晶方半导体、天水华天等，目前都在实验验证过程中，并取得了工艺上非常优秀的结果。

麦姆斯咨询：美图半导体的晶圆键合设备有哪些特点和优势？

王云翔：与进口设备相比，我们晶圆键合设备的设计采用了波纹管装置进行施压，并加入了自动调平装置，从压力均匀性和适应性上，远优于进口产品。核心系统完全自主研发，并实现了全面的国产化，使得我们在压力、压力均匀性、温度、真空度等多个指标上，全面的超过了进口设备。

同时为了适应国内市场的特殊性，开发了多种型号的键合设备，同时提供定制改装服务。并为客户开发了多种材料和方法的新型键合技术，比如柔性材料键合、低温金金键合、玻璃-玻璃键合、加热解键合、机械解键合。

由于对核心技术的掌握，我们的键合设备核心装置完全实现了国产化，因此在成本上有很大优势。

无论是工艺能力、设备性能和成本控制方面，美图半导体都具有一定的优势。

WB-200晶圆键合机

麦姆斯咨询：美图半导体的晶圆喷胶机有哪些特点和优势？

王云翔：美图半导体的喷胶机采用二元喷雾和超声喷雾技术，全封闭三维运动平台，高精度温度控制夹具，能够完成各类衬底的喷涂工艺，技术指标上超过同类产品。

根据国内客户的实际需求，我们开发了异型衬底的喷胶设备，比如球形，并开发了镜面喷涂、多喷头喷涂、多片喷涂等独特的喷胶工艺。

我们对工艺的深刻理解，使得我们可以针对客户的产品制造需求，有针对性地快速开发工艺，这样的特点让我们获得了广泛客户的认可。某国际大型半导体厂商在3D互连器件上已经在我们的设备上做了5次以上的付费实验。

垂直结构喷胶电镜照片

麦姆斯咨询：美图半导体其它设备是否能简单介绍一下？

王云翔：围绕着我们面向的核心产业，美图半导体还开发了一些小型设备和专业检测设备：

* 匀胶机、高精度热板、显影机、lift off等围绕光刻工艺的设备；

* 解键合机、真空匀胶机等围绕3D封装的设备；

* 应力检测仪、红外对准检查仪等围绕MEMS工艺的测试设备。

美图半导体的部分设备

麦姆斯咨询：相比国内外的竞争对手，美图半导体有哪些取胜之道？

王云翔：国内传统的半导体设备厂商主要分为两类，一类是研究所体制遗传下的企业，该类企业缺乏对用户需求的了解，工艺开发能力较弱，对设备的改进动力不足；另一类是大投资的新兴公司，往往瞄准的是半导体设备领域的高难度量产市场，会经历非常漫长的成熟期才会被市场接受。美图半导体的体量和背景决定了我们必须在短期内站稳脚跟，因此我们选择了科研市场作为突破口，在产品逐步成熟后，在公司能够养活自己以后，再大步迈向量产领域。

首先，我们十分注重根据客户实际需求进行工艺开发，积累了大量的特殊工艺经验，能够满足客户对新技术的热烈需求。

其次，美图可以对标准设备进行特殊改装以满足客户的特殊工艺需求，并配合客户完成完整的工艺开发工作。

再次，美图对国产化十分重视，团队通过三年努力，自主开发了各型设备的核心装置，使得我们的设备供应链短，成本下降，服务便捷。

最后，本土化的服务队伍能够第一时间为客户解决问题。

通过三年的实践，目前公司已经在市场上生存下来，科研用户的认可和强烈的先进专用装备需求，让我们取得了阶段性的胜利，准备下一步占领量产领域的市场。

而对于国外的竞争对手，拥有良好的市场声誉和客户渠道，但在新技术开发、反应速度和工艺服务等方面，美图半导体具有比较明显的优势。由于国外设备商无法及时投入和服务客户，也不愿意为中国客户在标准设备上进行改进，使得越来越多的客户，尤其是在新的应用领域的客户，转而向我们寻求帮助。在这样的局面下，高性价比的专用设备成为了美图半导体突破国外垄断的制胜法宝。

玻璃-玻璃键合后的生物芯片

麦姆斯咨询：您能否介绍下美图半导体的核心团队、知识产权（如专利）的情况？

王云翔：美图半导体的核心团队通过三年时间的凝炼，已经实现年轻化和本地化，机、光、电、控、工艺各个核心研发岗位均有能力突出的青年科研人员担任。

知识产权方面，设备领域已经申请了十多项专利技术，而工艺领域，作为美图半导体的专有技术，我们愿意和与我们密切合作的用户共同分享。

麦姆斯咨询：2015年，美图半导体的用户数量是多少？预计2016年的增长情况如何？

王云翔：2015年，美图半导体的设备进入成熟阶段，新增了十几个客户，共二十多台设备，并实现了现金流的正增长。2016年，预计各项业务均会倍增，并进入量产工厂领域。

麦姆斯咨询：为了满足公司的进一步发展，美图半导体未来是否有融资计划？

王云翔：是的，我们的确有融资计划，希望新的融资能够帮助我们完成核心设备的自动化型号研发的工作，并进入行业中标杆量产企业。我们期望能够和行业内能提供资源的企业或者专业风投机构在2016年有合作的机会。

麦姆斯咨询：美图半导体今后五年的目标是什么？更长远目标是什么？

王云翔：美图半导体希望在未来五年内成为中国MEMS领域最专业、最受客户认可的设备和方案供应商。更长远目标，是能够和更多企业合作，成为中国MEMS、先进封装、生物芯片等产业链中最关键的环节，成为具有世界先进技术水平的高科技装备公司。