ST引领欧洲研究项目在下一代光学MEMS器件
2015-02-11 12:49:44   来源：微迷   评论：0   点击：

意法半导体（ST）透露，这是采取Lab4MEMS II，是建立在现有的Lab4MEMS项目，在2013年4月公布的持续成功的扩展了主导作用。

Lab4MEMS II着重于微光机电系统（MOEMS），该合并的MEMS与微光学传感或操纵的光信号用集成机械、光学和电路系统，而原来的项目保持其重点放在发展先导管路为增强这种先进的技术如压电或磁性材料和3D封装下一代MEMS电子元器件。像它的姊妹项目，Lab4MEMS II是由欧洲纳米电子学计划顾问委员会（ENIAC）联合执行体（JU），纳米电子学中的一个公私合作推出。

Lab4MEMS II是一块26万欧元项目20个产业，学术和研究伙伴遍布九个欧洲国家。建立在第一Lab4MEMS项目的建立基础和成功，扩展功能ST的协调合作，提供其完整的生产，技术和组织资源的范围内对欧洲的努力，以确保领导高潜力MOEMS。

该Lab4MEMS II工程集中于设计，制造和测试了多种包括使用微光学和标准微加工技术的光学开关，微反射镜阵列，光交叉连接，激光器，和微透镜装置的小型化，以及建立先进光学系统。 MOEMS器件被看作是未来的有价值的商业产品，如光学开关、微镜和动态显示器、​双稳态器件和光学快门等，应用领域包括微型投影、激光微扫描仪、新一代人机界面的平台和微光谱仪。该项目的一个目标是优化生产双单轴镜子以及研究的可能性为双轴单镜的发展。

Lab4MEMS II是由ENIAC JU承包开发技术和应用领域有重大社会影响的一个关键使能技术（KET）试验线工程。

对于Lab4MEMS II的中试生产线将扩大对更高容量的的Agrate Brianza的ST的运营200mm晶圆制造工厂，同时增加光学技术的组合。这将增加对这些战略的使能技术的诀窍，同时结合科学的技能，设计和制造广泛的智能微型和硅纳米系统的能力。该项目将评估潜在的利益和未来的举措300mm晶圆的影响。