淄博高新区MEMS项目入选《中国制造2025》2017重大标志性项目
2017-02-28 13:10:41 来源：微迷 评论：0 点击：
国家工业和信息化部下发意见函，中国工程院组织遴选的MEMS传感器产业化等16个项目，拟作为《中国制造2025》2017年重大标志性项目。其中，由清华大学与淄博高新区合作建设的MEMS传感器产业化项目位列其中，这是山东省唯一入选的项目。
近日，国家工业和信息化部下发意见函，中国工程院组织遴选的MEMS传感器产业化等16个项目，拟作为《中国制造2025》2017年重大标志性项目。其中，由清华大学与淄博高新区合作建设的MEMS传感器产业化项目位列其中，这是山东省唯一入选的项目。
淄博高新区一直重视尖端科技产业化的探索和发展，规划建设了MEMS产业园，与清华大学合作建立了国家高新区MEMS研究院和国高（淄博）微系统科技有限公司。MEMS传感器产业化项目是国高（淄博）微系统科技有限公司、淄博高新技术产业开发区MEMS研究院等单位共同建立了国内一流的MEMS代工线，MEMS代工线是国内首家专业化的中试代工平台，也是山东省第一家批量生产微型传感器的专业化平台，于2016年6月通过部级成果鉴定，鉴定结果为国际先进。 MEMS传感器产业化项目拟规划建设国内一流的微纳米器件研究与加工线，以惯性MEMS器件（如陀螺仪）、微开关/微继电器为首批实施项目，同时可满足压力传感器，磁力计，微型泵、阀等微纳米器件的结构研究。
MEMS技术是特征尺度跨越微米和纳米两个邻接微小领域的高新技术，也是信息化、智能化的关键核心技术，MEMS传感器技术具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等诸多优势，MEMS行业对促进中国制造具有重大推动作用。MEMS需要先进的智能制造技术平台支撑，是多种学科交叉融合并具有重大战略意义的前沿高技术，以其特有的智能化、微型化、低功耗的优势，在军事领域和民用行业有着极为广阔的应用前景，是未来的主导产业方向之一，是当今世界制造业的趋势和热点。MEMS的产业化发展将极大地促进各类产品的微型化、集成化、便携化，成数量级地提高器件与系统的功能密度、信息密度与互连密度，大幅度地节能、节材。MEMS技术引起了世界各国科学界、产业部门和政府部门的高度重视，被列入各国高技术发展规划，已经成为当今科技热点之一，MEMS产业化的发展正在引发一场新的产业革命。
我国在MEMS个别器件研究领域取得了一些成果，但在成品质量、性价比，尤其是智能化、商品化和产业化方面与发达国家还有很大的差距，严重制约了我国微系统相关的尖端科技的发展，核心MEMS器件的制造水平的不足，已经成为我国大范围应用MEMS领域相关技术的瓶颈，成为一个亟待解决的技术性难题，因此，本项目通过“产学研用”模式形成具有新型行业特点的示范性MEMS研发代工中试平台。
据MEMS传感器产业化项目负责人介绍，目前国内大部分的MEMS研究机构达不到智能化制造水平，并且中试水平、实验条件离产业化还有很大的距离，国内高端制造业急需解决具有高端通用制造能力的问题，主要原因是由于缺少中试环节（验证平台），研制的器件大部分也达不到量产的要求，研究人员的产业化概念也还亟待提高，高投入、低产出，是无法实现产业化的，因此，建立通用代工平台以促进产品小试、中试，以提高产品质量和稳定性，扎实开展MEMS中试代工、工艺验证平台项目具有重要的现实意义。打造智能工厂级别的中试代工平台必须打好智能制造的广泛基础，而国高（淄博）微系统公司拥有先进的代工模式，从自主知识产权、生产控制等方面全方位入手，以智能制造设备应用、装置自动化方案为基础，在实现各项生产经营管理工作信息化的同时，有效打通了企业智能制造的数据通道。
目前，MEMS孵化器已建成10万平方米，已形成稳定的45个单项工艺和17个产品工艺流程。国家高新区MEMS研究院成立了国内MEMS领域15名顶尖专家组成的专家委员会，负责高精度陀螺仪、MEMS继电器和加速度计等器件研发，引领平台的发展方向及工艺评审。去年9月份，清华大学、同方股份、淄博高新区三方达成战略合作协议，研究院建设、平台发展、基金设立、项目落地、产业园区建设等协议内容的各项工作正在快速推进。下一步，将现有加工设备条件和环境，开展MEMS制造技术封装与装配过程中关键技术的研究和开发，真正解决其关键技术形成核心发明专利，为进一步的产业化奠定良好的知识产权基础。通过国际交流引进国内外先进的MEMS技术平台管理与运行机制，通过市场化和竞争。2017年将建成6英寸、8英寸MEMS芯片生产线，完成急需关键共性技术研发，试制一批传感器样品。2018年产品将进入实际应用，2019年丰富品种，实现产业化。
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