青岛芯笙推出多款气体质量流量计和控制器产品
2022-01-20 13:20:05   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

青岛芯笙近期推出多款气体质量流量计和质量流量控制器产品，成功打通从MEMS芯片到流量检测仪表和算法的全链条核心技术，成为青岛市仅有的几家掌握MEMS核心芯片技术的高科技企业之一。

据麦姆斯咨询报道，青岛芯笙微纳电子科技有限公司（中文简称：青岛芯笙，英文简称：Xinnovis）专注于微小气体流量测控产品的研发和生产。近期，青岛芯笙采用工业级MEMS流量传感器解决方案，开发出下一代高性能气体质量流量计产品，主要面向分析仪器、实验室、氢能，以及真空镀膜等应用市场。

图1 青岛芯笙研发的流量传感器芯片

图2 青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器（左）和MFM-50系列气体质量流量计（右）

随着国家对国产仪器和半导体设备的重视和支持，国内分析仪器产业、半导体装备产业实现了快速发展。作为分析仪器和半导体装备的核心部件，气体质量流量计/控制器目前仍以进口为主，国产化替代需求迫切。不同于传统的差压、涡街等原理的体积型流量计，MEMS气体质量流量计基于热传导原理对气体质量流量进行高精确测量，该类型产品不受温度和压力等环境参数影响，成为全球最为广泛使用的高精度微小气体流量测控技术。

青岛芯笙MFM-50系列气体质量流量计，采用航空级铝合金基座和Exia IIC T4 Ga本安型防爆设计，具有精度高（最低0.5%）、量程比宽（500:1）、响应速度快（最快15ms）、温漂小（0.01% F.S./℃）、性价比高、一体化集成等优点，适用于实验室安全用气改造、氢能、生物制药、钎焊等行业。

青岛芯笙S500系列气体质量流量控制器，具有独特的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。

青岛芯笙WIN M/S系列微型数字风速计，为国内首创产品，采用经济、紧凑型封装方式，在8.5mm x 6mm x 3.3mm的封装体积内同时实现了温度和风速的测量。该产品可以集成在空调、新风系统、防爆柜、通风柜等设备中，实现最大25m/s的风速测量，并具有0.02m/s的高分辨率。

“公司虽然在2020年才成立，但我们在MEMS流量传感器芯片方面已经进行了八年多的前期研发。”青岛芯笙创始人陶继方博士介绍，“目前，公司已逐步驶入发展快车道，产品在投入市场后，获得已获得一大批客户的认可，其中包括多家大型上市企业。后续公司将继续加大投入，也更加专注在微小气体流量测控这一细分领域，目标成为半导体、气体分析仪等领域的核心零部件供应商。”

关于青岛芯笙

青岛芯笙位于青岛市崂山区，毗邻山东大学青岛校区、北航青岛微电子研究院、中科院青岛能源所等研究机构，是一家专业从事高端气体流量传感器和流量测控仪表开发的高新技术企业，公司团队核心成员来自新加坡、比利时、中科院等国际著名MEMS研究机构。公司经过2年的努力，先后开发出微型数字风速计、气体质量流量计和质量流量控制器等多款产品，目前均已进入量产阶段。公司将继续专注在微小气体流量测控领域，打造国际一流的气体质量流量计和控制器产品，致力为客户提供高品质产品和专业化服务，共同推动国产分析仪器、半导体装备的发展。

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