IntelliSense提供MEMS设计与工艺教育包
2012-06-23 21:44:08 来源:微迷 评论:0 点击:
IntelliSense公司面向MEMS教育领域提出一个全面的MEMS设计与工艺教育包,该产品包以一个真实MEMS压力传感器设计和制造过程为例。
目前市场上对各种MEMS器件都有大量的需求,因此能快速有效的获得MEMS器件的设计和制造知识是尤为重要和有价值的。然而完成一个MEMS器件设计并非易事,完整的设计过程需要经过复杂的版图设计,工艺设计,3D器件级的多物理场耦合分析验证以及样片制作。目前各个大学通常投入巨大的人力财力来培养合格的MEMS专业者,例如配备全面地的设计工具,建造工艺制作设施,采购设备或者承担一次次的实验失败成本等。因此,IntelliSense公司面向MEMS教育领域提出一个全面的MEMS设计与工艺教育包。该产品包以一个真实MEMS压力传感器设计和制造过程为例,包括以下内容:
1、一款压阻式压力传感器的工艺设计流程,配以工艺演示软件FabViewer对工艺过程进行三维演示。
2、压力传感器的版图文件。
3、压力传感器的完整的设计文档。
4、提供100个此压力传感器原形样片。
5、压力传感器样片的测试文档。
FabViewer软件演示压阻式压力传感器动态工艺过程
制作完成后真实的压力传感器样片
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